Für 1,4-nm-ICs
PI positioniert auf den Millionstel mm
Physik Instrumente (PI) beteiligt sich am einem EU-Projekt für die Entwicklung der neusten Maschinen für die IC-Fertigung und arbeitet an hochpräzisen Positioniersystemen mit Genauigkeiten von unter einem Millionstel mm.
Aktuell entsprechen mit der 3-nm-Technologie produzierte High-End-ICs dem Stand der Technik. Bereits im nächsten Jahr sollen Fertigungstechnologien für den 2-nm-Technologieknoten zur Verfügung stehen und bis 2027 für 1,4 nm, also 14 Angström. Ziel des EU-Projekts »14ACMOS« ist es, Maschinen für die Fertigung von Chips auf dem 1,4-nm-Technologieknoten zu entwickeln. 1 Angström entspricht einem zehnmillionsten Millimeter oder 0,1 nm.
Das mit 95 Mio. Euro dotierte Forschungsprojekt »14ACMOS« wird von der EU kofinanziert und vom »Gemeinsamen Unternehmen für Chips (Chips JU)« unterstützt. Es bündelt das Know-how und die Entwicklungskompetenz der führenden Ausrüster der Halbleiterindustrie Europas. Koordiniert wird das Projekt, an dem 25 Partner aus sechs Ländern beteiligt sind, von ASML, dem niederländischen Weltmarktführer für Lithografiesysteme zur Halbleiterherstellung.
Die im Rahmen des Projektes »14ACMOS« zu entwickelnden Positioniersysteme von PI müssen auch unter Vakuumbedingungen präzise und hochdynamisch funktionieren, damit sie wirtschaftlich einsetzbar sind.
PI ist seit Jahrzehnten Systempartner für die Halbleiterindustrie und mit Positioniersystemen in zahlreichen Bereichen der Halbleiterfertigung weltweit vertreten. Die Produkte des Spezialisten für die Nanopositionierung kommen heute schon beispielsweise bei der Lithografie oder der Metrologie für die Qualitätskontrolle zum Einsatz.
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