Bosch-Team erhält Deutschen Zukunftspreis 2008
Fortsetzung des Artikels von Teil 1
Oberflächen-Mikromechanik für Sensoren
Oberflächen-Mikromechanik für Sensoren
Dem Bosch-Team gelang es, die komplexen Bauteile von Sensoren durch Prozesse der Oberflächen-Mikromechanik zu realisieren. Die Strukturen und Bauteile werden auf der Oberfläche einer Siliziumscheibe aufgebaut und dabei, im Vergleich zu anderen Ansätzen, extrem dicke polykristalline Siliziumschichten aufgebracht. Mit Hilfe der neuen Prozesse gelingt es, in den aufgetragenen dicken Siliziumschichten feinste Strukturen mit senkrechten Wänden zu realisieren. So lassen sich bewegte Massen und frei schwingende Federelemente herstellen sowie maßgenaue Vakuumkammern in das aufgebrachte Silizium graben.
Zusätzlich kombinieren sie die Sensoren mit der elektronischen Auswerteschaltungen und versiegeln ihre Elemente hauchdünn und auf kleinstem Raum gegen Umwelteinflüsse. Dies alles in Dimensionen von tausendstel Millimetern und zu Kosten, die für komplexe Sensorsysteme bei wenigen Euro liegen. In Navigationssystemen beispielsweise misst ein solcher mikromechanischer Drucksensor die Höhe auf 25 cm genau und erlaubt mit genauen Ortsangaben die mobile Navigation auch in Gebäuden und für automatische Notrufsysteme.
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