Der digitale Durchflusssensor D6F-PH von Omron kann langsame Luftströme überdurchschnittlich genau und wiederholbar messen. Er basiert auf Omrons MEMS-Thermo-Durchflusssensor-Chiptechnologie. Dabei wird mit höherer Genauigkeit und in einem weiteren Druckbereich als mit den oftmals verwendeten kapazitiven und piezoelektrischen Differentialdrucksensoren gemessen. Ein integrierter ASIC nimmt digitale Korrekturen, z.B. der Linearitäts- und Temperaturabweichung, vor. Eingesetzt in Bypass-Konfigurationen, in denen der kleine durch eine Düse oder einen Durchfluss-Begrenzer erzeugte Differenzdruck in Korrelation zum hohen Volumenstrom im Hauptkanal steht. Zu den weiteren Eigenschaften zählen ein Digitalkorrektur-Algorithmus für eine Genauigkeit von 3 % R.D. (relativer Differentialdruck) sowie eine erhöhte Durchflussimpedanz, um den Einfluss der Länge und des Durchmessers der Bypass-Leitung zu reduzieren. Geliefert wird der Sensor in drei Versionen mit unterschiedlichen Messbereichen: 0 bis 250 Pa, +/-50 PA und +/- 500 Pa. Die Leistungsaufnahme beträgt 6 mA, die Versorgungsspannung 3,3 VDC. Der Sensor misst 26 x 22 x 18 mm³.