Bosch setzt Maßstäbe in der Sensor-Miniaturisierung

MEMS-Sensoren im Rasterelektronenmikroskop: Das Bild eines Rasterelektronenmikroskops (REM) zeigt die feinen geätzten Silizium-Strukturen eines Beschleunigungssensors von Bosch. Als Größenvergleich ist auf dem Chip zudem ein Insekt abgebildet. Die langen, diagonal durch das Bild laufenden Silizium-Strukturen messen die Beschleunigung. Sie sind rund 500 µm lang und nur etwa 3 µm dick. Ein µm ist der tausendste Teil eines Millimeters (0,001 mm). Die Fühler des Insekts sind rund 500 µm lang. Die Aufnahme ist nachträglich am Computer eingefärbt worden.