Keithley
Hohe Produktvielfalt erfordert eine schnelle Testplanentwicklung
Fortsetzung des Artikels von Teil 1
Pfade mit hoher Signalintegrität
Um die Signale zwischen den Instrumenten und den Test-Pins zu verschalten, bietet das S530 eine Hochleistungs-Schaltmatrix sowie Signalpfade mit hoher Signalintegrität. Die Leistungsfähigkeit dieser Pfade hat direkten Einfluss auf die Leistung des Testsystems als Ganzes. So sind hiervon zum Beispiel die maximalen Strom- und Spannungsgrenzwerte abhängig, und die Messung kleiner Signale wird durch Strom-Offsets beschränkt. Insgesamt verfügt das S530 über acht High-Fidelity-Pfade, um Instrumente dynamisch mit den Pins zu verbinden. So können beispielsweise bis zu acht SMUs gleichzeitig auf einen Pin (oder auf eine beliebige Anzahl von Pins) geschaltet werden. Das Low-Current-System gewährleistet ein gleichmäßiges Verhalten über alle acht Pfade; das High-Voltage-System stellt zwei Hochspannungspfade mit geringem Leckstrom, vier universelle Pfade und zwei C-V-Pfade zur Verfügung.
Gesteuert werden die Systeme über die Automated-Characterization-Suite-Software (ACS), mit der auch einige andere Testsysteme von Keithley arbeiten. In der Version 4.3 kombiniert sie sämtliche für den automatischen Parametertest nötigen Elemente in einem einzigen Paket. Dank der interaktiven Prüfung neuer Testskripts in einem vollautomatischen Modus optimiert sie die Testprojektentwicklung, ohne dabei den Durchsatz zu beeinträchtigen. Zudem unterstützt die ACS die Offline-Testentwicklung sowie die Analyse der Testergebnisse. Eine »Command-Line«-Steuerschnittstelle in der ACS vereinfacht die Anpassung an kundenspezifische Schnittstellen oder Fertigungssteuerungen.
Optionale Kapazität-Spannung-Einheit (C-V)
Nicht zuletzt sei erwähnt, dass sich alle S530-Systeme mit einem schnellen Kapazitätsmessgerät für C-V-Messungen bis 2 MHz an einem beliebigen Pin ausrüsten lassen. Diese C-V-Einheit ist zum Beispiel in der Lage, einen 10-pF-Kondensator bei 1 MHz mit 3 Prozent Genauigkeit zu messen.
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