Amsys
Niedrigstdrucksensoren bis 25 Pa
Auf der patentierten Micro-Flow-Technologie von First Sensor basieren die Niedrigstdrucksensoren der Serien LDE/LME/LMI von Amsys.
Die Micro-Flow-Drucksensoren sind verfügbar für den Druckbereich von 0-25 Pa bis 0-50 mbar, alternativ als bidirektionale Variante mit ±25 Pa bis ±50 mbar. Ihre hohe Sensitivität bei gleichzeitig gutem Überdruckverhalten prädestiniert die Sensoren zur Messung von Volumenströmen.
Das Funktionsprinzip der thermischen Massendurchflussmessung basiert auf einem Heizelement, das das Gas in einer kleinen Öffnung zwischen den beiden Druckanschlüssen erwärmt. Durch Druckunterschiede bildet sich ein asymmetrischer Temperaturgradient in dem Verbindungskanal aufgrund des Gasflusses aus. Dieser wird mit Temperatursensoren auf beiden Seiten des Heizelements detektiert und in ein linearisiertes Differenzdrucksignal umgewandelt. Die Lösung über einen winzigen, mikrostrukturierten Verbindungskanal in einem Siliziumdie minimiert den unerwünschten Durchfluss, indem die pneumatische Impedanz auf etwa 200 kPa/(ml/s) ansteigt. Dies bedeutet ein Faktor 1000 gegenüber vergleichbaren Sensoren und macht die Niedrigstdrucksensoren von Amsys robust gegen Staub und Störungen durch lange Schläuche.
Das sehr kleine SMD-Gehäuse der LME-/LMI-Sensoren ist für die direkte Montage in Ventilbaugruppen (Manifold-Montage) optimiert. Alternativ steht mit der LDE-Baureihe auch eine Version mit Schlauchanschlüssen für SMD- oder DIP-Montage zur Verfügung. Als Ausgangssignal steht ein 16-bit-I²C- (LMI-Serie) oder SPI- und 0,5- 4,5-V-Analogsignal (LME/LDE-Serie) zur Verfügung. Dabei kann über die digitalen Ausgänge auch der Wert des integrierten Temperatursensors abgefragt werden. (nw)
@i:Amsys, Halle 1, Stand 340, www.amsys.de
