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CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik

Neues Analytik-Kompetenzzentrum eröffnet

16. Juli 2021, 10:45 Uhr   |  Markus Haller

Neues Analytik-Kompetenzzentrum eröffnet
© CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik

Eröffnung des neuen Kompetenzzentrums mit SIMS am CiS. Rechts stehen Geschäftsleiter Prof. Dr. Thomas Ortlepp und Thüringens Wirtschafts- und Wissenschaftsminister Wolfgang Tiefensee (2.v.r.).

Am CiS in Erfuhrt steht das modernste SIMS im Umkreis von mehreren hundert Kilometern. Es ist Teil des neu eröffneten Kompetenzzentrums für Materialanalyse und erweitert das Sortiment an Entwicklungsdienstleistungen für mittelständische Sensorik-Hersteller.

Das CiS Forschungsinstitut bietet eine Kombination aus F&E-Diensten mit Analyseleistungen für Halbleiterhersteller an. Durch das neu eröffnete Analytik-Kompetenzzentrum erweitern sich nun die Analyseleistungen. Damit können Entwickler von Halbleitersensoren auf tiefere Einblicke und detailliertere Empfehlungen für Konstruktionsanpassungen, Modifikationen am Herstellungsprozess oder Materialwechsel hoffen.

2 Millionen Euro Förderung für SIMS-Massenspektrometer

Teil der neuen Ausstattung ist ein hochauflösendes 3D-Sekundär-Ionen-Massenspektrometrie-System (SIMS). Laut CiS ist es das modernste seiner Art im Umkreis von mehreren hundert Kilometern. Mit ihm werden dreidimensionale Elementverteilungen gemessen, um auf die qualitative und quantitative Zusammensetzung oberflächennaher Schichten zu schließen und Tiefenprofile zu gewinnen. Die Anschaffung wurde durch das Thüringer Wirtschaftsministerium mit rund 2 Millionen Euro unterstützt. Die Analyse-Dienstleistungen werden zukünftig für Forschungseinrichtungen und Industriekunden angeboten. Relevant ist das Angebot vor allem für kleinere und mittelständische Halbleiter- und Sensorhersteller, deren F&E-Ressourcen die Anschaffung von teurer Analyseausrüstung nicht zulassen. Neben der klassischen Halbleiterindustrie adressiert das CiS mit dem neuen Analytik-Kompetenzzentrum - auch als CAK abgekürzt - weitere Industriezweige. Dazu gehören u.a. die metallische Werkstoffanalyse, Untersuchungen in der Batterieforschung, anorganische und biomedizinische Oberflächenbeschichtungen und technische Gläser der optischen Industrie.

Scharnierfunktion zwischen Wissenschaft und marktfähiger Anwendung

Während der Eröffnung unterstrich Thüringens Wirtschaftsminister Wolfgang Tiefensee die Bedeutung des CiS für die angesiedelte Mikroelektronik- und Sensorik-Branche. Das Forschungsinstitut nehme eine »wichtige Scharnierfunktion zwischen Wissenschaft und marktfähiger Anwendung« ein. Mit dem neuen Analytik-Kompetenzzentrum und dem modernen SIMS soll diese Stellung weiter ausgebaut werden.

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