IoSense - 200-mm-Pilotlinien-Projekt bei Infineon
20. Mai 2016, 14 Bilder
...wird von drei Robotern mit der Bezeichnung Amor überwacht. Er fährt durch den Reinraum und erfasst verschiedene Messdaten. Hier ist er im Bereich der Waferbelichtung zu sehen. Das gelbe Licht sorgt dafür, dass es nicht zu Fehlbelichtungen kommt. Die einzelnen Prozesse werden trotz des hohen Automatisierungsgrades...