IoSense - 200-mm-Pilotlinien-Projekt bei Infineon
20. Mai 2016, 14 Bilder
... herrscht ein steter Luftzug. Die Luft wird über ein Zuluftplenum durch eine Filterdecke mit ca. 5000 Schwebstofffiltern in den Reinraum zu- und über den Doppelboden mit ca. 5000 Lochplatten zurückgeführt. In 34 Umluftanlagen mit einem Durchsatz von je 165.000 m³/h wird die Luft bis zu 365 Mal pro Stunde ultrafein gefiltert. Bevor Luft von außen in den Reinraum gelangt, durchläuft sie in sieben Außenluftanlagen mit je 60.000 m³/h vier Stationen: Vorfilterung, Luftwäscher, Feinfilterung und Schwebstofffilterung.
Die Luftqualität...