Speicher gehen in die dritte Dimension

9. Dezember 2015, 8 Bilder
© IEDM/TSMC/NTHU
Bild 4. Aufbau der Zelle in einem CMOS-kompatiblen 1-Kbit-16 nm-FIND-RRAM. Oben schematischer Aufbau der FinFETs entlang der Bitleitung. Unten Elektronenmikroskopischer Querschnitt