Prozess- und Packaging-Innovation für Moore's Law.
10. Dezember 2019, 8 Bilder
Für die weitere LG-Skalierung und damit Gate-Pitch-Skalierung über das hinaus, was der FinFET bieten kann, braucht es Gate-All-Around-Transistoren (GAA) wie Nanodrähte (nanowires) und Nanobänder (nanoribbons).
