Blick in Infineons 300-mm-Fab

 ...kommt in Form eines Abriebfreien Positioniersystems ebenfalls aus dem Freistaat Sachsen.
Damit der Reinraum auch rein bleibt, herrscht ein steter Luftzug. Die Luft wird über ein Zuluftplenum durch eine Filterdecke mit ca. 5000 Schwebstofffiltern in den Reinraum zu- und über den Doppelboden mit ca. 5000 Lochplatten zurückgeführt. In 34 Umluftanlagen mit einem Durchsatz von je 165.000 m³/h wird die Luft bis zu 365 Mal pro Stunde ultrafein gefiltert. Bevor Luft von außen in den Reinraum gelangt, durchläuft sie in sieben Außenluftanlagen mit je 60.000 m³/h vier Stationen: Vorfilterung, Luftwäscher, Feinfilterung und Schwebstofffilterung.