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Fab in Dresden ist für 32 nm gerüstet

26. Mai 2008, 11:38 Uhr | Mathias Bloch, elektroniknet.de

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Fortsetzung des Artikels von Teil 2

Fab in Dresden ist für 32 nm gerüstet

Sie haben zusammen mit Qimonda, Siltronic, Aixtron, und einigen Forschungseinrichtungen »Tetragonal verspanntes Silizium für die Nanoelektronik« entwickelt (TeSiN). Was verbirgt sich dahinter?

Buchholtz: Wir arbeiten daran, wie wir Transistoren schneller machen können. Dabei ist verspanntes Silizium oder »strained silicon« ein wichtiges Thema. Beim »TeSiN«-Projekt, „Tetragonal verspanntes Silizium für die Nanoelektronik“, verbirgt sich, dass das Substrat biaxial verspannt wird.

Wir arbeiten mit SOI- Wafern (Silicon on Insulator). Im Gegensatz zu dem normalen Silizium ist genau diese Lage Silizium, die auf dem Isolator liegt, verspannt. Biaxial heißt dabei in beide Kristallrichtungen.

Wo genau liegt der Unterschied zu vorhergehenden Technologien?

Buchholtz: Der wesentliche Unterschied ist, dass wir mit Siltronic mit einem Substrathersteller zusammengearbeitet haben. Dadurch können wir nicht nur mit verspannten Abdeckschichten arbeiten, sondern vom Substrat aus losgehen. Allerdings wird es noch eine Weile dauern, bis wir damit in die Produktion gehen können.

In der Fertigung spielen eine Vielzahl von Materialien eine Rolle, die alle in einer gewissen Wechselwirkung stehen. Wenn man an einem Teil etwas macht, muss man die Auswirkungen auf andere Teile achten. Das ist für einen Forscher natürlich sehr schön, da wir bisher unbekannte Eigenschaften an verspanntem Silizium entdeckt haben.

Welche sind das zum Beispiel?

Buchholtz: Darüber können wir leider noch nichts sagen.

Was tun Sie außer Strukturverkleinerungen, um Chips effizienter zu machen?

Wieczorek: Wir frieren die Technologie nach ihrer Einführung nicht ein, sondern verbessern sie hier in Dresden kontinuierlich. Zur Zeit läuft die 65-nm-Technologie. Wir steigern die Performance der Transistoren dieser Technologie um ungefähr 18 Prozent pro Jahr mit Verbesserungen. Zu einem späteren Zeitpunkt überführen wir dann das entsprechende Transistormodell einer Technologie in die nächste Generation. Diesen Vorgang nennen wir » Continuous Transistor Improvement«.

Solche Verbesserung können etwa von der Transistorintegration kommen oder durch eine kontinuierliche Steigerung der Verspannung.

Wie profitiert AMD vom Silicon Saxony?

Buchholtz: AMD ist ein wichtiges Mitglied von Silicon Saxony. Mit der Ansiedlung der großen Unternehmen hat es hier einen ganzen Schub von Forschung- und Entwicklung gegeben. Normalerweise sagt man ja, dass zuerst F&E kommt und dann die Unternehmen. Silicon Saxony ist hier einen anderen Weg gegangen. Bei der Forschung und Entwicklung gibt es dabei für uns Synergieeffekte, die sehr wichtig sind. Umgekehrt profitiert natürlich auch der Cluster von den großen Unternehmen.

Die Forschung in der Halbleiterindustrie ist in den letzten Jahrzehnten immens teuer geworden. Die Universitäten und Forschungseinrichtungen sind mehr und mehr darauf angewiesen, dass sie einen Weg aufgezeigt bekommen. Wir von AMD können den Einrichtungen sagen, was wir genau wollen und damit passen sie sich entsprechend an und können uns inzwischen bieten, was wir brauchen. Am Anfang war das etwas schleppender, mittlerweile macht es für uns Sinn, mit Aufträgen zu Partnern zu gehen oder sogar zusammen zu arbeiten.

In New York soll eine neue Fab von AMD gebaut werden, die ebenfalls sehr gut mit Forschungseinrichtungen vernetzt werden könnte…

Wieczorek: Der Staat New York hat AMD ein ausgesprochen attraktives Angebot unterbreitet. Wenn sich AMD bis Mitte 2009 entscheidet, eine neue Fab bei Albany zu bauen, dann bekommt es staatliche Zuschüsse zum Bau. Bislang hat sich AMD nicht entschieden. New York ist eine Option und Dresden ist Realität.

Thema Ingenieursmangel, ist AMD auch davon betroffen?

Buchholtz: Wir haben den Vorteil, dass wir groß und namhaft sind, dadurch haben wir einen sehr attraktiven Bewerberpool. Aber wir leben ja nicht allein auf der grünen Wiese. Wir haben ein großes Feld von Zulieferern und Service-Anbietern, die auch alle gutes Personal brauchen. Und die haben da schon größere Probleme. Wir können nur so gut sein, wie unser Umfeld ist.

Was unternehmen Sie dagegen?

Buchholtz: Wir investieren sehr viel in die Nachwuchsförderung. Diese Frage geht manchmal in der Standortdiskussion unter: Ohne die richtigen Leute kann man, egal wo man ist, nichts machen. In Dresden waren wir bisher sehr erfolgreich, weil wir hier sehr gute Leute vorgefunden haben. Aber wir müssen dafür sorgen, dass die Naturwissenschaften ernster genommen werden, als sie das im Moment werden. Wir sehen das kritisch und sehen dort auch eine staatliche Verantwortung, weil Bildungspolitik nicht Aufgabe der Unternehmen ist. Mit unserem Jugendförderprogramm versuchen wir, Kindern unsere Begeisterung für Naturwissenschaft und Technik anschaulich zu vermitteln.