Sensoren, die fast alles aushalten

Murata gibt die Entwicklung eines oberflächenmontierbaren Winkelbeschleunigungs-Sensors in MEMS-Technik bekannt. In den letzten Jahren war eine wachsende Nachfrage der Kunden nach Winkelbeschleunigungs-Sensoren mit kompakten Abmessungen festzustellen. Deshalb kombinierte Murata seine Technologie zur Konstruktion von Inertialsensoren mit seiner MEMS-Prozesstechnologie. Dem Unternehmen gelang damit die erfolgreiche Entwicklung eines Bausteins, bei dem es sich um den weltweit ersten, für Oberflächenmontage geeigneten MEMS-Winkelbeschleunigungs-Sensor handeln dürfte. Das Produkt ist vermutlich außerdem der weltweit kleinste Winkelbeschleunigungs-Sensor in SMD-Bauweise. Seine Abmessungen betragen lediglich 5,2 x 5,2 mm² (typisch) und maximal 0,8 mm in der Höhe. Der Baustein bietet ein Detektierungs-Frequenzband von über 1 kHz. Das effektive Winkelbeschleunigungs-Rauschen ist kleiner als 1 rad/s².