Positionierung & aktuelle Prüfverfahren
Wafer-Inspektion in Nanometer-Präzision
Für die Inspektion von Wafern bietet sich eine Kombination aus drei Schlüsseltechniken an: Die Synergie aus konfokalem Linienscan, 3D-Profiling und präziser Positionierung sorgt für eine effiziente Fertigung ohne Kompromisse in der Qualitätssicherung.