Inline-Sputteranlage zur Beschichtung von Dünnschicht-Solarmodulen
Manz wird Komplettanbieter für die Dünnschicht-Prozesskette
Mit einer vertikalen Vakuum-Anlage zur Beschichtung von Substraten komplettiert Manz sein Angebot für den Dünnschicht-Solarmarkt. Manz ergänzt das aufeinander abgestimmte Prozesskonzept »Manz Total Fab Solution« für Dünnschicht-Modulhersteller um eine weitere Komponente. Gefertigt wird die Anlage in China.
Weil der künftige Markt für Sputteranlagen zum großen Teil in Asien liegt, wurde die neue Manz-Fabrik in Suzhou/China bereits von Anfang an auch für die Fertigung solcher Anlagen ausgelegt. Die lokale Fertigung in China soll Manz Kostenvorteile gegenüber den europäischen Wettbewerbern sichern. »In Verbindung mit dem umfangreichen Prozess-Know-how von Manz Coating in Deutschland versprechen wir uns so einen schnellen Markteinstieg«, erklärt Dieter Manz, Gründer und CEO der Manz AG.
Im Konzept der »Manz Total Fab Solution« sind alle relevanten Prozessschritte optimal aufeinander abgestimmt, darunter zum Beispiel Laserprozesse, nasschemische Prozesse und nun auch Vakuumbeschichtungsprozesse sowie deren vollautomatisierte Verknüpfung und intelligente Steuerung. Die neue Beschichtungsanlage ISS 1200 ist ein inline sputter system (ISS) in kompakter und modularer Bauweise, das eine bessere Ausnutzung der Rohmaterialien ermöglicht. Das System arbeitet nach dem Prinzip der physikalischen Gasphasenabscheidung (PVD), bei dem die Ausgangsmaterialien, zum Beispiel Molybdän, mit Hilfe des physikalischen Verfahrens der Kathodenzerstäubung in den gasförmigen Zustand überführt werden, um anschließend auf dem Glassubstrat als leitfähige Schicht abgeschieden zu werden.
Die ISS1200 ermöglicht höhere Durchsätze bei geringem Wartungsaufwand und lässt sich einfach in neue und bestehende Fertigungslinien integriert. „Damit zahlen wir auf das Konto der zwingend notwendigen Produktionskostensenkung bei Solarmodulen ein“, erklärt Dieter Manz, Gleichzeitig sind PVD-Vakuumbeschichtungsanlagen wesentlicher Bestandtteil einer voll integrierten Produktionslinie wie der Manz CIGSfab, und haben wesentlichen Einfluss darauf, den bisherigen Effizienznachteil von Dünnschicht-Modulen gegenüber Modulen aus kristallinen Solarzellen wettzumachen. Mit dem Anfang September 2012 vorgestellten Wirkungsgradweltrekord für Dünnschicht-Solarmodule von 14,6 Prozent hat Manz seine Position als Technologieführer in diesem Markt untermauert.
Die neue Produktplattform Manz ISS 300 bis ISS 1200 wurde von der 2010 gegründeten Manz Coating GmbH im hessischen Karlstein entwickelt und basiert auf bereits langjährig etablierten Technologien und Anlagenkonzepten zur Oberflächenbeschichtung. Sputteranlagen werden nicht nur in der Solarindustrie, sondern auch in anderen Hightech-Märkten wie zum Beispiel der Display-Fertigung oder der Herstellung von Touchsensoren und organischen Leuchtdioden (OLEDs) eingesetzt. Aktuell arbeitet Manz in einem ersten Kundenprojekt an einer Sputteranlage zur Herstellung von OLED Lightning-Substraten. In diesem Zukunftsmarkt werden Beleuchtungskörper auf Basis der OLED Technologie auf flächigen Glassubstraten hergestellt.
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