Für PERC-Zellen
InnoLas: Lasersystem für bis zu 3600 Wafer pro Stunde
Mit dem Lasersystem ILS TT bietet InnoLas Systems Herstellern von Solarzellen eine Maschinenplattform für PERC-Zellen, sich auch in bestehende Fertigungslinien integrieren lässt. Das System bringt es auf einen Durchsatz von bis zu 3600 Wafer pro Stunde.
Beim gegenwärtigen Entwicklungsstand gilt PERC (Passivated Emitter and Rear Contact) die einzige Technologie, mit der ein vernünftiger Kompromiss zwischen Zelleffizienz und Herstellungskosten erreicht wird, und die damit eine akzeptable Amortisationszeit bietet.
Die InnoLas-Anlage bietet dafür die nötigen Laserprozesse, um den Wirkungsgrad der Solarzellen zu erhöhen und die Herstellungskosten zu senken. Das Komplettsystem von InnoLas umfasst das ILS TT Laserbearbeitungssystem und eine darauf abgestimmte Handlingeinheit.
Was die ILS TT von anderen Lösungen auf dem Markt unterscheidet, ist der sehr hohe Durchsatz von bis zu 3600 Wafern pro Stunde. Der tatsächliche Durchsatz hängt natürlich davon ab, wie die Öffnungen in der rückwärtigen Passivierungsschicht ausgelegt sind.
Die ILS TT ist mit verschiedenen Laserquellen erhältlich, um das System genau auf die jeweiligen Prozessanforderungen abzustimmen. InnoLas Systems verfügt über ein komplett ausgestattetes Applikationslabor. Anwendungstechniker beraten bei der Auslegung des Systems. Bei der PERC-Technologie erfolgt die Auswahl des Lasers entsprechend der Auslegung der Öffnungen in der rückwärtigen Passivierungsschicht. Die gängigste Anordnung ist das „Line Pattern“ bei dem 30-50µm breite Schlitze den Kontaktbereich und das BSF (Back Surface Field) formen. Eine „Dot Pattern“ Geometrie dagegen besteht aus einem Raster von runden Öffnungen mit >80µm Durchmesser. Diese Variante ist technisch herausfordernd, ermöglicht aber eine perfekte Optimierung des Serienwiderstandes und des Kurzschlussstroms.
Bis jetzt hat InnoLas Anlagen für eine Produktionskapazität von mehr als 1,5 GW/Jahr installiert. »Das beweist, dass unser Konzept voll produktionstauglich ist und den Kunden klare Vorteile bietet«, erklärt Richard Grundmüller, CEO von InnoLas. Mehr als 75 ILS TT Systeme werden heute weltweit in großen und kleineren Fertigungsstrassen eingesetzt. Neben PERC Anwendungen werden InnoLas-Systeme auch in Produktionsanlagen für andere Verfahren und Zellkonzepte eingesetzt, wie die Laser Selective Emitter Technology, Laser Edge Isolation, MWT bohren und Pad Isolation, Laser Fired Contacts, und Interdigitated Back Contact Cell. »Wir verfügen über das Know-how und die Erfahrung um verschiedene Laserprozesse in ein Gesamtkonzept zu integrieren, mit dem sich der Wirkungsgrad der Zellen auf über 20% steigern lässt«, resümiert Grundmüller.
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