IoSense - 200-mm-Pilotlinien-Projekt bei Infineon

... die Wafer in sogenannten Losen offen durch die Fertigung. Höchste Sauberkeit ist hier Pflicht. Wieso?
Ein Mikrocontroller für Motorsteuerungen enthält rund 300 Millionen Transistoren, die Produktion erfolgt in 90 nm teilweise sogar 95 nm breiten Gates - das entspricht in etwa dem 1000stel Durchmesser eines Menschenhaares. Würde auch nur eine Staubkorn auf den zu belichtenden Wafer kommen, wäre der Wafer Ausschussware.
Auf einer 200-mm-Siliziumscheibe befinden sich je nach Chipgröße mehrere Hundert bis Tausend Chips. Ein Weltrekord...