Massenspektrometer von Pfeiffer Vacuum
Hohe Empfindlichkeit, großer dynamischer Bereich
Für den Einsatz in Analysesystemen, der EUV-Lithografie und im R&D-Sektor hat Pfeiffer Vacuum das Massenspektrometer »HiQuad Neo« entwickelt, das sich durch seine hohe Empfindlichkeit, einen großen dynamischen Bereich und eine hohe Messgeschwindigkeit von 125 μs/u auszeichnet.
Je nach Anwendung können unterschiedliche Massenbereiche, Stabdurchmesser, Ionenquellen, Detektoren, Schnittstellen und Kabellängen ausgewählt werden. Damit eignet es sich beispielsweise für den Einsatz in der Sauberkeitsverifizierungen für die EUV-Lithografie aber auch für viele weitere Analysesysteme.
Geräte der Vorgängergeneration können auf den neuesten technologischen Stand des »HiQuad Neo« gebracht werden. Dabei können einige vorhandene Komponenten wie beispielsweise der Analysator weiterverwendet werden. Das reduziert Kosten und Abfall.
Mit Hilfe der» PV MassSpec«-Software von Pfeiffer Vacuum lässt sich das Massenspektrometer einfach bedienen. Sie bietet eine übersichtliche und benutzerfreundliche Plattform zur Aufnahme und Darstellung von Messdaten sowie von Parametersätzen. Mit dem integrierten Sequenzer können komplette Messabläufe einfach und automatisiert programmiert werden. Ein Klick genügt, um die Lecksuche und Vakuumdiagnose durchzuführen. Darüber hinaus ermöglicht die Software automatisiertes Kalibrieren und Tunen. Die Definition von Messrezepten ist einfach, eine Verknüpfung der massenspektrometrischen Daten mit externen Signalen möglich. Alternativ kann auch direkt über die Ethernet-Schnittstelle (via OPC-UA) kommuniziert werden. Diese Funktionalitäten machen es geeignet für eine Vielzahl von Anwendungen.
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