5-nm-Technologie-Plattform von TSMC

11. Dezember 2019, 8 Bilder
© IEDM | TSMC

Der HMC-FinFET liefert nachweislich einen ca. 18 % höheren Treiberstrom als der Si FinFET. Eine TEM-Analyse zeigt eine vollständig gespannte (strained) HMC-Gitterkonstante, die sich mit der Si-Gitterkonstante verbindet.