Der realisierte 5-nm-Prozess bietet im Vergleich zum 7-nm-Vorgänger-Prozess eine Geschwindigkeitssteigerung von 15 % bei gleicher Leistungsaufnahme oder eine Reduzierung der Leistungsaufnahme um 30 % bei gleicher Geschwindigkeit verbunden mit einer Steigerung der Logikdichte um den Faktor 1,84.