Speicher gehen in die dritte Dimension

9. Dezember 2015, 8 Bilder
© IEDM/FhG/TU Dresden/Globalfoundries/HAW München/Politechnikum Mailand
Bild 8. Links die Honigwabenstruktur des 20-nm-DRAM. Mitte die wabenförmig angeordneten Zellen-Kondensatoren. Rechts ein Schnitt