MEMS-Mikrolautsprecher
14. April 2020, 5 Bilder
Schematische Darstellung für die Animation eines MEMS Mikrolautsprecher-Bauelementes mit parallel angeordneten Aktor-Paaren (NED – Nanoscopic Electrostatic Drive). Sie sind symmetrisch mit dünnem Spalt ausgeführt und ermöglichen bidirektionale Bewegungen.