Silicon Labs
Erstmals monolithische CMOS-MEMS-Oszillatoren ohne Bonding
Im Unterschied zu SiTimes‘ MEMS-basierenden Oszillatoren werden die ersten CMEMS-Taktgeberbausteine von Silicon Labs in einem durchgängigen Halbleiter-Prozess hergestellt, wodurch das Bonding zwischen dem 26-MHz-MEMS-Resonator und den…