Digitales Lithografiesystem von EVG
Durchsatz im Advanced Packaging verfünffacht
Mit dem neuen maskenlosen Belichtungssystem »LITHOSCALE XT« bringt EV Group das erste echte digitale Lithografiesystem mit hohem Durchsatz und hoher Auflösung für die heterogene Integration im High-Volume-Manufacturing (HVM) auf den Markt.