Leybold Optics
Fertigungsausrüstung für Dünnschichtmodule
Fertigungsequipment für alle derzeit gängigen Dünnschichtsysteme (a-Si/µc-Si, CIGS, CIGS-Flex, CdTe) zeigt der PV-Maschinenhersteller Leybold Optics. Für die CIGS-Technologie beispielsweise bietet Leybold Optics das vollständige Vakuum-Equipment wie Frontkontakt, Absorber Layer, Rückkontakt, etc. für alle notwendigen Prozesse.
Speziell für das Rolle-zu-Rolle-Verfahren konzipiert ist das Roll-to-roll coating System, auch Web-Coater genannt. Das Verfahren ist konzipiert für Substrate wie Metallfolien oder flexiblem Kunststoff und lässt Beschichtungsmethoden wie Sputtering, Evaporation, CVD oder eine kombinierte Lösung zu. Die Substrate werden über ein Bandlaufwerk von Rolle zu Rolle transportiert und dabei vakuumbeschichtet, die beschichtete Oberfläche bleibt dabei komplett unberührt. Die patentierte Leybold-Technologie bietet mit seinem 360°-Design einen vollautomatisierten Prozess, der neben der Produktion von flexiblen Solarzellen auch weitere Anwendungsbereiche zulässt.
Vorstellen wird Leybold Optics auch eine zusammen mit der Ruhr-Universität Bochum und Leybold Optics entwickelte Technologie, die auf dem Elektrischen-Asymmetrie-Effekte (EAE) beruht. Ziel ist es, innerhalb einer technischen Anwendung des EAE-Effektes, eine deutlich höhere Abscheiderate bei gleich bleibend guten Schichteigenschaften zu erreichen. Ein weiterer wesentlicher Vorteil des neuen Verfahrens ist, dass bereits installierte Plasma-Anlagen prinzipiell weiter verwendet werden können. Leybold Optics wird künftig sein Beschichtungssystem Phoebus mit der neuen EAE-Technology ausstatten.
EU PVSEC 2011, A1/C2
