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Neues aus der Sensorik

10. Juni 2022, 8 Bilder
Der FLS122 verwendet ein CMOS-MEMS-Die, das auf dem Durchflusssensor FLS110 basiert. Das Schnittbild zeigt die Sensormembran, drei der fünf Heiz- und Sensordrähte sowie die mit dem Leiterrahmen verbundenen Goldbonddrähte innerhalb des Gehäuses.
© Flusso
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