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25. Oktober 2021, 5 Bilder
Schema Reinraumfunktion: Über ein Filtersystem wird nahezu staub- und keimfreie Luft eingelassen, die die partikelbelastete Luft verdrängt und durch Abströmoffnungen aus dem Reinraum leitet, wodurch die Partikel beim Betreten des Schleusenbereichs am Eindringen verhindert werden.