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23. April 2020, 5 Bilder
Bei Differenzdrucksensoren der L-Familie auf Basis von MEMS ist der Sensorkanal direkt in den Chip integriert. Bei der Volumendurchfluss-Messung erhalten sie sich ähnlich wie membranbasierte Differenzdrucksensoren, verlieren jedoch nicht den Vorteil der hohen Empfindlichkeit nahe des Nullpunkts.