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ZVEI
15. Dezember 2010,
23 Bilder
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300-mm-Wafer und Strukturbreiten zwischen 80 und 60 nm dominieren heute in der Fertigung. 450-mm-Wafer sind noch nicht in Sicht. Kann sich auch kaum einer leisten: Eine 450-mm-Fab dürfte mit rund 10 Milliarden Dollar zu Buche schlagen.
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