Neues interferometrisches Messverfahren
PTB misst Klebeschichtbewegungen in Lithografiespiegeln
Dünne Klebeschichten halten die Präzisionsspiegel in EUV-Optiken in Position. Trotz massiver, stabiler Lithografiemaschinen zeigen sich auf der Nanometerskala kleinste Bewegungen innerhalb der Klebeschichten. Um dies zu messen, hat die PTB ein…