Neues aus der Mess- und Prüftechnik

Vollautomatisches Dünnschicht-Inspektionssystem

Das vollautomatische Halbleiterwafer-Inspektionssystem Xtrology von Horiba Europe kombiniert mehrere Sensortechnologien, darunter spektroskopische Ellipsometrie zur Schichtdickenmessung, Raman-Spektroskopie zur Materialanalyse und Photolumineszenz zur Defekterkennung. Dadurch können Wafer unterschiedlicher Materialien und Größen mit einem einzigen System geprüft werden.

Das System integriert ein eigens entwickeltes, automatisches Fördersystem für kontinuierliche, berührungslose Messungen. Xtrology unterstützt offene Kassetten, SMIF- und FOUP-Loader und ermöglicht so eine nahtlose Einbindung in bestehende Produktionslinien.

Die Sensoren und die Steuerungssoftware sind Eigenentwicklungen von Horiba. Zukünftige Erweiterungen, wie die Integration weiterer Sensortechnologien, sind bereits in Planung.