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Kennziffer 044: Optischer Wegsensor: Positionsauflösung von 1 pm. Der optische Distanzsensor FPS3010 von Attocube Systems erfasst Positionsveränderungen von max. drei Objekten bei Arbeitsabständen bis 40 cm. Die Positionsauflösung beträgt dabei 1 pm bei einer Objektgeschwindigkeit von 2 m/s. Für die Messung greift Attocube auf ein Fabry-Perot-Interferometer zurück. Die Daten werden mit einer Bandbreite von 10 MHz erfasst.