Leybold Optics: Buffer Layer cadmiumfrei herstellen
Vakuumbeschichtungsanlage ersetzt Prozessschritte
Leybold Optics, Deutschland, hat eine neue Verdampf- und Sputter-Kombianlage für den Einsatz in der Dünnschichttechnologie vorgestellt.
Zum ersten Mal werden in einer Vakuumbeschichtungsanlage zwei komplett unterschiedliche Beschichtungstechnologien vereint. Mit dieser Kombinationsanlage hat Leybold Optics eine weitere Maschine entwickelt, die unter anderem auch in der Herstellung von CIGS-Solar-Modulen eingesetzt werden kann. Speziell dort, wo die Produktion cadminumfreie Prozessschritte verlangt.
Mit dieser Kombianlage, basierend auf der Standardplattform einer vertikalen Vakuumbeschichtungsanlage, bietet Leybold Optics eine Beschichtungsanlage, die sogenannte Buffer Layer (Pufferschichten) ohne nasschemischen Cadmiumprozess herstellen kann.
In der Vakuumanlage wird durch eine Kombination von Aufdampfen und RF-, AC-Sputtern (Kathodenzerstäubung) in einer schadstofffreien, umweltfreundlichen Prozessumgebung produziert. Hohe Investitionen in den bisherig aufwändigen, nasschemischen Prozess einschließlich Kosten zur Aufbereitung des kontaminierten Wassers entfallen vollständig.
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