Blick in Infineons 300-mm-Fab
21. August 2014, 23 Bilder
...und »befüttert« die Produktionsstationen mit den Wafern. Die Roboter fahren dafür in einem Produktionsgang entlang. Im Hintergrund ist noch die Metallschiene am Boden zu erkennen. Das Verfahren des Roboters stellte die Prozesstechniker jedoch vor eine Herausforderung: Wo Räder sind, gibt es Abrieb und somit Partikel - fatal in einem Reinraum.
Die Lösung des Problems...