Schichtdicken- und Oberflächenmessung mit chromatischer Abstandsmessung

Der chromatische Sensor CWL HR (High Resolution) und der Infrarot-Schichtdickensensor CWL IR von FRT arbeiten nach dem Prinzip der chromatischen Abstandsmessung.

Bei diesem Verfahren wird das Licht - abhängig von seiner Wellenlänge - in verschiedenen Abständen vor dem Messkopf fokussiert. Durch die Auswertung des reflektierten Lichtspektrums oder der überlagerten Teilstrahlen lassen sich so Oberflächenhöhen, Profile oder Schichtdicken bestimmen. Dank einer modifizierten Optik und einer Superlumineszenzdiode erreicht der CWL HR eine Lateralauflösung von kleiner 0,7 µm.

Damit lassen sich auch spiegelnde, raue, reflektierende und lichtabsorbierende Oberflächen messen. Der CWL IR ermöglicht Schichtdicken-Messungen an Materialien, die für sichtbares Licht opak, für Infrarot aber transparent sind. Der Sensor bietet einen großen Messbereich und eine x-y-Auflösung von 6,5 µm.