High-speed-Halbleiter präzise charakterisieren

Mit dem Ultra Fast-I-V-Modul 4225-PMU ergeben sich neue Mess-/Stimulus-Funktionen für das Keithley-Halbleiter-Charakterisierungs-System 4200-SCS zur Analyse an modernsten High-speed-Halbleitern.

Letztlich ermöglicht das neue Modul die Erzeugung von Spannungssignalen mit äußerst steilen Flanken und bietet auch Funktionen zur Messung von Strömen/Spannungen mit einen sehr großen Dynamikbereich im Hinblick auf alle Spannungs-, Strom- und Zeit-Parameter.

Einige Details: Das neue Modul enthält zwei Quellen- und Messkanäle, belegt aber nur einen von insgesamt neun Steckplätzen im Chassis. Jeder Kanal kombiniert sehr schnelle Spannungsausgänge (mit Impulsbreiten von 60 ns bis DC) mit simultanen Strom- und Spannungsmessungen.

Diese Strom- und Spannungsmessungen sind mit Erfassungsraten von bis zu 200 Megasamples/s (MS/s) mit 14 Bit Analog/Digital-Auflösung möglich, wobei zwei A/D-Wandler pro Kanal (also vier A/Ds pro Karte) zum Einsatz kommen. Es stehen dabei zwei Spannungs- (bipolar 10 V oder 40 V an 1 Megohm) und vier Strommessbereiche (800 Milliampere, 200 Milliampere, 10 Milliampere, 100 Mikroampere) zur Verfügung.

Der Einsatzbereich des Gesamtsystems zur Charakterisierung von Materialien, Bauteilen und Prozessen wird damit deutlich ausgeweitet, nicht zuletzt in Richtung von Anwendungen, die sehr steilflankige High-speed-Spannungssignale und auch synchronisierte Messungen erfordern, beispielsweise bei Nanometer-CMOS-Komponenten, bei der Charakterisierung von Verbindungshalbleitern und Materialien oder der Analyse von High-speed-Flash-Speichern.

Jedes Modul kann auch mit bis zu zwei optionalen Remote Amplifier/Switches Modell 4225-RPM ausgestattet werden, die vier zusätzliche Bereiche für kleine Ströme bieten.

Die Module sind ab ab Mai 2010 verfügbar.