OLED-auf-Silizium-Technologie Miniaturisierter Phosphoreszenz-Sensor

Wissenschaftler des Fraunhofer FEP haben einen miniaturisierten Phosphoreszenz-Sensor entwickelt, der auf kleinster Chipfläche Marker und Sensor vereint. Perspektivisch könnten Gas- und Umweltsensoren damit deutlich preisgünstiger gefertigt werden.

Sauerstoffsensoren gibt es in vielerlei Technologieausführungen. Doch bringen sie jeweils unterschiedliche Einschränkungen mit. Viele amperometrische Sensoren beispielswiese können große Temperaturbereiche abdecken, sind aber schwierig zu miniaturisieren und nur auf bestimmte Messpunkte beschränkt. Optische Sensoren, wie z. B. Phosphoreszenzsensoren, überwinden solche Hürden. Durch ihre einfache Handhabung und Integrationsfähigkeit in bestehende Systeme sind sie beliebte Alternativen. Die geringe Störanfälligkeit und einfache Wartung der meisten Sensoren überzeugt die Anwender schnell. 

Das Fraunhofer FEP setzt hierzu auf seine OLED-auf-Silizium-Technologie…

...Sie ist für die Realisierung hochauflösender Mikrodisplays für AR- und VR-Brillen etabliert und wird nun immer stärker für optische Sensorlösungen weiterentwickelt. So entstanden bereits optische Fingerprint-Sensoren durch die Verschmelzung von Display und Bildsensor in einem sogenannten bi-direktionalen OLED-Mikrodisplay: Neben der Displayfunktion dienen die Displaypixel als smarte Beleuchtung des aufliegenden Fingers, dessen Strukturen über die eingebetteten Photodioden detektiert werden.

Nun sind die Forscher einen Schritt weitergegangen…

...und haben einen miniaturisierten Phosphoreszenzsensor entwickelt. In diesem Sensor wird ein Marker durch blaues, moduliertes OLED-Licht angeregt und die Phosphoreszenzantwort innerhalb des Sensorchips direkt detektiert. Der Marker bestimmt hierbei den zu messenden Stoff; eine typische Anwendung ist die Messung der Sauerstoffkonzentration.

Die Herausforderung lag in der Konzeption…

...eines extrem kleinen Sensors, der alle Funktionalitäten vereint und durch die geringe Größe perspektivisch preisgünstig gefertigt werden kann. Hierfür wurden die OLED-Ansteuerung und das Sensor-Frontend in den Siliziumchip integriert und unterschiedliche Anordnungen von Anregungs- und Detektionsbereichen untersucht. 

Entstanden ist in erster Stufe…

...nun ein miniaturisierter Phosphoreszenzsensor. Dieser ist gerade daumennagelgroß und kombiniert Marker und Sensor in einem einzigen Bauelement. Er besteht aus einer blauen OLED, die gemeinsam mit einem kommerziell verfügbaren Marker auf dem Siliziumchip integriert ist.

»Momentan ist der Sensor auf die Detektion von Sauerstoffveränderungen ausgelegt«, erläutert Dr. Karsten Fehse, Projektleiter in der Gruppe Organic Microelectronic Devices. »Mit diesem ersten Aufbau haben wir den Funktionsnachweis des Bauelementes erreicht und können den miniaturisierten Sensorchip für Sauerstoffmessungen in Gasen einsetzen. Darüber hinaus sehen wir den Sensorchip als Plattform für zukünftige Entwicklungen, etwa für die Messung weiterer Parameter oder der Einsatz in anderen Umgebungsbedingungen.«

Der aktuelle Sensor emittiert auf einer Fläche…

...von ca. 4,7 x 2,2 mm blaues Licht für die Anregung des sauerstoffsensitiven Markers. Die Abklingzeit des emittierten Markerlichtes ist ein Parameter für die Sauerstoffkonzentration der Umgebung. Das deutlich geringere Phosphoreszenzsignal wird über integrierte Silizium-Photodioden aufgenommen, im Chip lokal verstärkt und anschließend hinsichtlich der Phasenverschiebung zum Erregersignal bewertet. Perspektivisch soll der Chip deutlich verkleinert werden, das Ziel ist hierbei <2 × 2 mm Gesamtchipgröße.

Durch die Vorteile des neuartigen Phosphoreszenzsensors…

...– der geringen Baugröße, der Vereinigung von Marker und Sensor auf einem Chip sowie der schnellen und genauen Auswertung der Daten – sehen die Forscher weitere Anwendungsbereiche, in denen das Sensorkonzept zum Einsatz kommen soll. Die Überwachung und Auswertung von Zellkulturen in sehr kleinen Einwegkulturgefäßen oder in Bioreaktoren ist hierfür ein interessantes Anwendungsbeispiel. „Single-Use-Bioreaktoren“ bieten meist nur kleinsten Bauraum und eine begrenzte Anzahl an Ports, über die Messsysteme angeschlossen werden können. Zukünftig soll das Sensorsystem in Richtung Multiparametermessung weiterentwickelt werden. Auch das Monitoring von Flüssigkeiten nach dem Füllprozess im Bereich der Pharmazie in Blistern oder zur Qualitätskontrolle von sauerstoffempfindlichen Arzneimitteln ist denkbar. Für solche (Weiter-)Entwicklungen ist das Fraunhofer FEP an Projekt-Partnerschaften interessiert.

Fraunhofer FEP, Halle 4, Stand 470