Bosch Integrierte Mitteldrucksensoren

Drücke von 10 bis 100 bar messen die integrierten Mitteldrucksensoren der Serie SMP13x von Bosch.
Drücke von 10 bis 100 bar messen die integrierten Mitteldrucksensoren der Serie SMP13x von Bosch.

Drücke von 10 bis 100 bar messen die integrierten Mitteldrucksensoren der Serie SMP13x von Bosch.

Das Modell SMP137 (bis 70 bar) punktet mit einem hermetisch dichten Metallgehäuse, einer hohen Berstfestigkeit der Messmembran, einer Temperaturbeständigkeit bis maximal 150 °C und bereits im Sensor enthaltenen EMV-Kondensatoren als Schutz vor störender Einstrahlung. Seine Ansprechzeit liegt bei weniger als 1 ms. Das Sensorelement besteht aus einer Messbrücke mit piezoresistiven Widerständen, gefertigt in MEMS-Technologie. Proportional zur Durchbiegung der Membran ändert sich der Pegel des elektrischen Brückensignals. Dieses Signal wird von einem auf demselben Chip wie die Membran integrierten Analog-ASIC aufbereitet und über die elektrischen Anschlüsse des Sensors nach außen geleitet.

Bislang ist der SMP137 in Musterstückzahlen erhältlich, in größeren Mengen ab dem 4. Quartal 2011. 2012 soll ein Modell für 22 bar Höchstdruck folgen.