Für die Fertigung von Silizium-Wafern, PV-Zellen und -Modulen Infrarot-Temperaturmessung

Die Infrarot-Sensoren, Zeilenscanner und Thermokameras von Raytek ermöglichen die kontinuierliche Echtzeit-Temperaturüberwachung.

Ob in der Fertigung von Silizium-Wafern oder in der Fertigung von Photovoltaikzellen und -modulen: Die Infrarot-Sensoren, Zeilenscanner und Thermokameras von Raytek ermöglichen die kontinuierliche Echtzeit-Temperaturüberwachung. Das gilt auch für den Einsatz im EX-Bereich.

Während der Produktion von polykristallinem Silizium erlauben die Pyrometerserien Modline 5, Marathon MR und FR die präzise Temperaturmessung im CVD-Reaktor. Die intelligenten Zweifarbpyrometer ermitteln die Temperatur auch bei ungünstigen Sichtverhältnissen genau. Die Geräte sind mit hoher optischer Auflösung, schneller Antwortzeit und variabler Fokussierung erhältlich und können dadurch sehr kleine Messflecken an Mehrkristall-Silizium-Stäben messen.

Für den Einsatz in der Fertigung von Einkristall-Silizium-Wafern eignen sich die Hochleistungspyrometer Modline 5, Modline 5R, Marathon MR und Marathon MM aufgrund ihrer kurzen Wellenlänge, ihres Ein- oder Zweifarbmessprinzips und des Variablen-Fokus. Die hohe optische Auflösung erlaubt die genaue berührungslose Temperaturmessung von kleinsten Messflecken auf der Flüssig/Fest-Grenzfläche des Siliziums. Dies ist besonders wichtig bei der Überwachung des Kristallziehprozesses. Die integrierte Videofunktion der MM-Serie ermöglicht es, den Prozesses und die Lagekontrolle des Messfleckes gleichzeitig zu beobachten. Einige Pyrometer verfügen zudem über Funktionen zur Selbstüberwachung und -kalibrierung, die die Bedienung einfacher machen.

In Beschichtungsprozessen können inhomogene Temperaturverteilungen beim Auftragen dünner Schichten auf Trägermaterialien zu Fehlern, Blasen und Delaminierungen führen und die Qualität des Endproduktes gefährden. Hier ermöglicht das Prozessüberwachungssystem GS150 mit hoher optischer Auflösung, entsprechendem Spektralbereich und branchenspezifischer Analysesoftware die Darstellung der Temperaturverteilung anhand von Wärmebildern und Temperaturprofilen. Erkennt das GS150 thermische Abweichungen, löst es einen Alarm aus. Das GS150-System verfügt über Ethernet-Kommunikation und eine OPC-Schnittstelle. Die Daten werden mittels Fernübertragung dem Leitsystem zur Überwachung, Steuerung und Dokumentation des Prozesses zur Verfügung gestellt.