Viscom Exakte Bondfußvermessung

Viscom erweitert sein Portfolio an Drahtbond-Inspektionssystemen um das neue VHR-Modul für die exakte Vermessung von Ball und Wedge. Es ermittelt z.B. Wedge-Breiten von Au-Dünndrähten (25 µm) mit einer Standardabweichung ab 1 µm.

Neben der Inspektion der qualitativen Ausprägungen von Bonddrähten, Balls und Wedges lassen sich so auch die im Fertigungsprozess kritischen geometrischen Kriterien erfassen – und das inline und mit höchster Genauigkeit.

Viscom setzt in den Inspektionssystemen ein umfangreiches Portfolio an Algorithmen zur Erfassung geometrischer Werte bei der Drahtbondkontrolle ein. Bei Golddraht-Bonds mit Durchmessern unter 25 µm kommt das Viscom-VHR-Modul zum Einsatz. Die spezielle Beleuchtungstechnik dieses Kameramoduls arbeitet die Größenverhältnisse exakt heraus.

Der Vorteil des Viscom-Verfahrens liegt in der hohen Genauigkeit: Bei einer Auflösung des VHR-Moduls mit ca. 3 µm pro Pixel sind Standardabweichungen für die Wedgebreite von 1 µm realisierbar. Auch ohne optional einschaltbares Subpixeling wird so die Spannweite der Messwerte auf maximal 1 Pixel begrenzt. Das bedeutet für den Anwender, dass jede Veränderung im Bondprozess nachvollzogen und eine Fehlentwicklung sofort korrigiert werden kann. Die Qualität in der Fertigung wird so aktiv verbessert.

Damit erfüllt Viscom auch die strengen Anforderungen der Kfz-Zulieferindustrie. Hier gilt für Dünndraht-Wedges eine maximale Breitentoleranz von nur wenigen µm bei einem Vertrauensbereich von 3 σ, also der dreifachen Standardabweichung.

Das Inspektionsverfahren steht für alle Drahtbond-Inspektionssysteme von Viscom zur Verfügung. Mit Hilfe der statistischen Prozesskontrolle VPC kann der Anwender die Messdaten sofort abrufen und Eingriffsgrenzen definieren.