ZVEI Halbleiterhersteller in Deutschland reduzieren Treibhausgase

Die Halbleiterhersteller in Deutschland halten ihre Klima-Selbstverpflichtung ein. Die Unternehmen tragen damit zur deutlichen Reduzierung der Emissionen fluorierter Treibhausgase bei. Dies geht aus dem Abschlussbericht über die freiwilligen Klimaschutzanstrengungen dieser Industrie hervor. Vertreter führender deutscher Halbleiterunternehmen und des ZVEI überreichten den Bericht dem Bundesumweltministerium.

Im Rahmen des Kyoto-Protokolls verpflichteten sich die Halbleiterhersteller freiwillig, in ihren deutschen Produktionsstätten, bestimmte fluorierte Treibhausgase zu reduzieren. Es handelt sich dabei um die Stoffgruppe der PFC – perfluorinated compounds, die über das größtmögliche Treibhauspotenzial aller Treibhausgase verfügt. Eingesetzt werden PFC-Gase als Prozessgas bei der Chipherstellung sowie zur Reinigung von Fertigungsanlagen. In der Selbstverpflichtung sagt die Halbleiterindustrie zu, die PFC-Emissionen von 1995 bis 2010 absolut um 8 Prozent zu verringern – berechnet nach Kohlendioxid-Äquivalenten. Um dieses Ziel zu erreichen, unternahm die deutsche Halbleiterindustrie in den vergangenen Jahren große Anstrengungen. Sie setzt dabei vor allem auf neue Abgasreinigungstechniken. Außerdem werden die Prozessgase effektiver eingesetzt und zum Teil werden sie durch andere Substanzen mit einem geringeren Treibhauspotenzial ersetzt.

Der ZVEI-Arbeitskreis Umweltschutz und Arbeitssicherheit entwickelte für die Standorte in den deutschen Halbleiterfertigungen spezielle Reduzierungspläne. »Deren konsequente Umsetzung hat mit einer Minderung der Emissionen um 47 Prozent zur beispielhaften Erfüllung unseres Ziels geführt«, erläutert Dr. Klaus Mittelbach, Vorsitzender der Geschäftsführung des ZVEI. »Dadurch konnte die deutsche Halbleiterindustrie auch maßgeblich zur PFC-Reduktion auf europäischer Ebene beitragen.«