Kommentar EUV - Too big to fail?

Iris Stroh, Leitende Redakteurin Markt&Technik
Iris Stroh, Leitende Redakteurin Markt&Technik

Auch wenn dieser Ausdruck aus der Wirtschaftswelt kommt, eignet er sich meiner Meinung nach hervorragend für die Halbleiterindustrie und zwar in Hinblick auf die EUV-Lithographie. Denn wenn die EUV-Technik nicht doch noch den Sprung in die Fertigung schafft, sieht es mit Moore’s Law düster aus.

Es gibt zwar andere Techniken, mit deren Hilfe Strukturen unter 20 nm gefertigt werden können. Doch wenn man Kurt Ronse vom IMEC Glauben schenkt, dann sind sie entweder zu teuer oder noch sehr weit von einer serientauglichen Fertigung entfernt.

Dass die Halbleiterindustrie mittlerweile selbst eine gewisse Dringlichkeit verspürt, EUV neuen Schub zu verleihen, zeigt sich auch in den milliardenschweren Investitionen, mit denen sich Intel, Samsung und TSMC an den ASML-Forschungsaktivitäten beteiligt. Zwar ist schon viel Geld in die EUV-Technologie, aber auch die Finanzspritze seitens der Industrie ist absolut kein Garant dafür, dass die Technik auch wirklich funktioniert. Dem stimmt sogar Ronse zu, auch wenn er der Meinung ist, dass es zur EUV-Technik überhaupt keine Alternative gibt, sie also schlicht kommen »muss«.

Doch haben die IC-Hersteller nicht bereits Erfolge für die Fertigung auf dem 14-nm-Technologie-Knoten verkündet? Diese Verlautbarungen sind aber wohl eher Marketing-getrieben. Denn die Strukturen, die die Hersteller heute auf Basis von so genannten 14-nm-Technologien erzeugen, entsprächen laut International Technology Roadmap for Semiconductors (ITRS) eher einem Technologieknoten irgendwo zwischen 14 und 20 nm.

Vom Marketing einmal ganz abgesehen, eins steht fest: Wenn EUV scheitert, lassen sich ICs mit Strukturen von 14 nm und darunter nicht mehr kostengünstig fertigen. Moore´s Law würde nicht mehr gelten und das bislang herrschende Wachstumskonzept einer großen Industrie würde ins Wanken geraten. EUV ist also systemrelevant, aber ist es deshalb schon »too big to fail« - wohl eher nicht, denn wenn EUV scheitert, dann hat auch alles Geld nichts genutzt.

Ihre Iris Stroh