IMEC Technology Forum Die Partnerschaft zwischen IMEC und ASML wird verlängert

Das belgische Forschungszentrum IMEC arbeitet bereits seit langem mit dem Lithographie-Hersteller ASML zusammen. Jetzt wurde beschlossen, die Partnerschaft auch die nächsten fünf Jahre (2011 bis 2015) beizubehalten, was mit einer entsprechenden Vertragunterzeichnung besiegelt wurde.

Im Rahmen des neuen Abkommens ist vorgesehen, dass IMEC noch im November dieses Jahres das neueste ASML-Tool »NXT1950i« für die Immersion-Lithographie mit 193 nm installiert. Gleichzeitig werden auch die Arbeiten rund um die EUV-Lithographie vorangetrieben. Dazu wird das produktionsfähige EUV-Litho-System »NXE:3300B« installiert, der Nachfolger des Test-Tools »NXE:3100«, das im Frühjahr 2011 im IMEC installiert wurde. Außerdem erhält das IMEC mit dem neuen Abkommen auch Zugang zu den neuesten Rechentools und der Messplattform »Yieldstar S200« von ASML.