Lithografie wächst ASML überholt Applied Materials

Reuss, Christopher <christopher.reuss@edag-ps.com>
Die Marktanteile der führenden Hersteller von Frontend-Equipment 2018 und 2019.

In diesem Jahr verdrängt ASML den langjährigen Platzhirsch Applied Materials von Platz 1 auf der Rangliste der Hersteller von Frontend-Equipment.

20 Jahre war Applied Materials der weltweite Marktführer unter den Herstellern von Maschinen für die Halbleiterfertigung auf Waferebene, auch Frontend-Equipment genannt. Über die vergangenen drei Jahre hat das Unternehmen aber Marktanteile verloren und kommt laut »The Information Network« 2019 auf 19,4 Prozent am Gesamtmarkt. 2015 waren es noch 23 Prozent gewesen. Dagegen konnte ASML den eigenen Anteil von 18 Prozent 2018 auf 21,6 Prozent in diesem Jahr steigern und Applied Materials damit überholen. Für 2020 sagen die Analysten ASML weiteres Wachstum auf 22,8 Prozent voraus- während Applied bei 19,3 Prozent verharren werde.

Das liegt daran, dass ASML über viele Jahre die sehr teuren Extreme-Ultraviolett-Lithografiegeräte entwickelt hat, die jetzt die führenden Firmen in ihren modernsten Prozesslinien einsetzen. Aufgrund des hohen Preises für die neuen EUV-Maschinen  und für Lithografiegeräte insgesamt, kann ASML den Umsatz weiter steigern. ASML war ein Spin-off von Philips und ist vom Newcomer Anfang der 90er Jahre zum mit Abstand größten Hersteller von Lithografiemaschinen aufgestiegen – und hat Firmen wie Canon und Nikon hinter sich gelassen, was auch Zeiss freuen dürfte, die die Optik zuliefert sowie Trumpf, die die Laser für die EUV-Maschinen beisteuert.

Weniger gefallen dürfte das den Herstellern von Maschinen für Abscheide- und Ätzprozesse, denn viele dieser Prozessschritte, die im Umfeld der herkömmlichen Deep-Ultraviolett-Lithografie  erforderlich waren, fallen mit EUV-Lithografie weg.

Der Marktanteil von Tokyo Electron, deren Schwerpunkt auf Maschinen für Abscheide- und Ätzprozesse liegt, wird von 15,8 Prozent 2018 auf 14,8 Prozent in diesem Jahr zurückgehen. Dies sind auch die Schwerpunkte von LAM Research, deren Anteil 2019 auf 14, 2 Prozent (2018: 15,4 Prozent) sinkt. LAM liefert einen hohen Anteil der Maschinen an Speicher-IC-Hersteller, die ihre Investitionen aufgrund des Überangebots und des Preisdrucks im Speichermarkt zurückgefahren haben.

Dagegen konnte KLA Tencor den eigenen Anteil 2019 von 6,2 Prozent im vergangenen Jahr auf 6,9 Prozent steigern. Das Unternehmen fertigt Metrologie- und Inspektionssysteme. Je kleiner die Strukturen auf den ICs werden, umso höhere Bedeutung kommt diesen Systemen in der Produktion zu.

Laut »The Information Network« wird der Markt für Front-End-Equipment 2020 insgesamt um 5 Prozent wachsen.  Allerdings würden die Speicherhersteller – trotz wieder anziehender Preise für Speicher-ICs – ihre Investitionen 2020 um 5 Prozent senken.