Drucken Schablone ersetzt Präzisionssieb

DEK hat sein Schablonenspektrum um die zweischichtige Schablone »VectorGuard Platinum« erweitert. Sie ermöglicht den Druck feiner Linien und Depots in unterschiedlichen Größen und eignet sich daher gut für die Halbleiterfertigung.

Die doppelschichtige Schablone wird in einem zweistufigen lithographischen und Nickel-galvanischen Verfahren hergestellt und in einen Spannrahmen montiert. Die Siebgewebeschicht der zweischichtigen Struktur hält die Schablone stabil und steuert präzise den Pastenfluss zur zweiten Schicht. Diese zweite Schicht, die Nickelschablone, bestimmt Dicke und Gestalt der gedruckten Depots und erlaubt das genaue Drucken feiner Strukturen.

Die zweischichtige Schablone ist prädestiniert für Anwendungen, bei denen es auf hohe Genauigkeit ankommt, wie die Herstellung von Solarzellen oder LTCC-Bauelementen (LTCC: Low Temperature Co-fired Ceramic) und bietet damit eine probate Alternative zu Präzisionssieben. Vorteile gegenüber der herkömmlichen Sieb-Technologie sind die Fähigkeit, lange und feine Leiterbahnen zu drucken, ohne die Stabilität der Schablone zu gefährden und die im Vergleich zu Sieben zehnmal längere Lebensdauer.

Zusätzlich bietet das System Vorteile beim Microelectronics-Packaging: In solchen Mehrebenen-Anwendungen reduziert die VectorGuard-Technologie die zweistufigen Prozesse auf eine Stufe, indem sie das Füllen der Durchkontaktierungen und das Drucken der inneren Leiterebenen zusammenfasst. Die zweischichtigen Schablonen nutzen das Potenzial des VectorGuard-Spannsystems und weisen eine Formgenauigkeit von besser als 0,1µ/mm auf.