Bosch: Sensorik fürs Motormanagment MEMS-Drucksensor: klein und mit digitalem Ausgangssignal

Der neue barometrische Drucksensor SMP480 von Bosch benötigt im Vergleich zum Vorgängermodell nur ein Viertel des Einbauvolumens. Mit dem neuen Bauteil bringt Bosch erstmals einen Drucksensor der SMP-Baureihe auf den Markt, der sein Messsignal nicht analog ausgibt, sondern über eine SPI-Digitalschnittstelle mit 12 Bit Auflösung für Druck und Temperatur.

Die Toleranz des Drucksignals über Lebensdauer wird bei diesem digitalen Barometer unter 1.0 kPa gehalten – gegenwärtig laut Unternehmensangabe der Bestwert im Markt. Der SMP480 hat ein zehnpoliges Premold-SMD-Gehäuse, ist RoHS-konform und wird bereits in großen Stückzahlen ausgeliefert.

Kern des SMP480 ist das Sensorelement. Es besteht aus einer einkristallinen Siliziummembran – hergestellt nach dem „Advanced-Porous-Silicon-Membrane-Prozess" (APSM). Sie schließt hermetisch dicht ein Referenzvakuum ein. Auf der Membran sind vier Dehnwiderstände in Brückenschaltung eindiffundiert. Sie wandeln die wenige tausendstel Millimeter messende Durchbiegung der Membran durch den einwirkenden Luftdruck in ein elektrisches Signal. Die Signalkonditionierung und die A/D-Umsetzung übernimmt ein neben dem Sensorelement im Gehäuse untergebrachter ASIC.

 

Technische Daten – SMP480 (typische Werte)

Messbereich

40 kPa bis 115 kPa

Toleranz Druck

≤ 1,0 kPa

Toleranz Temperatur

≤ 3 K im Bereich 25 bis 85 °C

Schnittstelle

SPI, 12 Bit Auflösung für Druck und Temperatur

Betriebsspannung

3,3 V(DC)

Stromaufnahme

≤ 8,0 mA

zul. Umgebungstemperatur

-40 bis +130 °C

Gehäuse

Premold 10-polig, 6,9 x 5,7 x 2,4 mm³ (L x B x H)