Kuka Mobile Roboterlösung für die Halbleiterproduktion

Die "Kuka Wafer Handling Solution" ist laut Hersteller Kuka die weltweit erste Lösung aus einer Hand, die Wafer-Kassetten automatisiert transportieren und handhaben kann.

Die „Kuka Wafer Handling Solution“ besteht aus der mobilen Plattform KMR 200 CR, dem auf ihr verbauten kollaborativen Leichtbauroboter „LBR iiwa“ und einem maßgeschneiderten, von Kuka patentierten Greifer. Auch die Software stammt von Kuka.

Die mobile Plattform verfügt über Mecanum-Räder, die das omnidirektionale Fahren ermöglichen. Sensoren an der Plattform nehmen die Umgebung in Echtzeit wahr und vermeiden so Kollisionen. Die Sensitivität des „LBR iiwa“ ermöglicht es, die sensiblen Wafer-Kassetten sicher und erschütterungsfrei zu handhaben.

Die Wafer-Handling-Software-Lösung fügt sich problemlos in das Manufacturing-Execution-System der Halbleiterproduzenten ein. Der in der Software integrierte Flotten-Manager steuert die Transportaufträge, um die automatisierte Halbleiterfertigung am Laufen zu halten.

Alle Lösungen stammen aus einer Hand und sind zertifiziert, woraus sich besonders kurze Inbetriebnahmezeiten ergeben.

Kuka auf der productronica 2019: Halle A3, Stand 405