»Kuka Wafer Handling Solution« Mobile Roboterlösung für die Halbleiterproduktion

Die »Kuka Wafer Handling Solution« auf Roboterbasis eignet sich für die Reinraumfertigung.
Die »Kuka Wafer Handling Solution« auf Roboterbasis eignet sich für die Reinraumfertigung.

Die »Kuka Wafer Handling Solution« ist laut dem Unternehmen die weltweit erste Lösung aus einer Hand, die Halbleiter-Kassetten automatisiert transportieren und handhaben kann.

Bei der Halbleiterfertigung wird das chemische Element Silizium in Form von Wafern bearbeitet. Die Wafer werden bei der Fertigung unter Reinraumbedingungen in speziellen Kunststoffkassetten gelagert und in zahlreichen Prozessschritten verarbeitet. Weil die Nachfrage nach Halbleitern auch künftig steigen wird, wollen die Hersteller den Fertigungsprozess weiter automatisieren.

Die »Kuka Wafer Handling Solution« eignet sich für Reinraumbedingungen; ihre Hardware und Software stammen von Kuka. Sie besteht aus dem zur Mensch-Roboter-Kollaboration fähigen Leichtbauroboter »LBR iiwa« und der mobilen Plattform KMR 200 CR, einem standardisierten Automated Guided Vehicle (AGV). Als dritte Hardware-Komponente dient ein maßgeschneidertes, patentiertes Greifer-System.

Die mobile Plattform verfügt über Mecanum-Räder, die das omnidirektionale Fahren in jede Richtung ermöglichen. Sensoren an der Plattform nehmen die Umgebung in Echtzeit wahr und vermeiden so Kollisionen. Der LBR iiwa ist auf der Plattform verbaut; dank seiner Sensitivität kann er die sensiblen Wafer-Kassetten sicher und erschütterungsfrei handhaben.

Die Wafer-Handling-Software-Lösung fügt sich problemlos in die Manufacturing Execution Systems der Halbleiterproduzenten ein. Der in der Software integrierte Flotten-Manager steuert Transportaufträge, um die automatisierte Halbleiterfertigung optimal am Laufen zu halten. Alle Bestandteile der »Kuka Wafer Handling Solution« stammen aus einer Hand und sind zertifiziert. Daraus ergeben sich besonders kurze Inbetriebnahmezeiten, was die »Kuka Wafer Handling Solution« dem Unternehmen zufolge zum flexibelsten Handling-System auf dem Markt macht.