Mikro-Elemente bestimmen Coriolis-Kraft

<p>Silicon Sensing bietet MEMS-Sensoren zur Messung der Winkelgeschwindigkeit. Grundelement ist ein mikromechanisch gefertigter Ring aus Silizium, der an acht Speichen aufgehängt ist und mit einer&nbsp; Frequenz von 14,5 kHz zum Schwingen angeregt wird.

Silicon Sensing bietet MEMS-Sensoren zur Messung der Winkelgeschwindigkeit. Grundelement ist ein mikromechanisch gefertigter Ring aus Silizium, der an acht Speichen aufgehängt ist und mit einer  Frequenz von 14,5 kHz zum Schwingen angeregt wird.

Dabei bildet sich eine stehende Welle aus, die in den außen ringförmig angebrachten Sensoren Signale unterschiedlicher Amplitude erzeugt. Wird die Anordnung gedreht, dann bewegt sich der Schwingungsmodus durch die auftretende Coriolis-Kraft  proportional zur Winkelgeschwindigkeit.

Die Variante mit dem empfindlichsten Messbereich nennt sich CRS05; sie liefert ein Ausgangssignal von 40 mV pro °/s, bei dem maximalen Ausgangsspannungshub von ±2 V können Winkelgeschwindigkeiten bis ±50 °/s bestimmt werden.

Silicon Sensing
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